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## [[웨이퍼]], [[포토마스크]] 제조. | ## [[웨이퍼]], [[포토마스크]] 제조. | ||
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## [[반도체 웨이퍼 가공 공정]] : 포토 [[리소그래피]], 증착, 세정, 식각, 화학적기계적연마, 확산, 이온주입 | ## [[반도체 웨이퍼 가공 공정]] : 포토 [[리소그래피]], 증착, 세정, 식각, 화학적기계적연마, 확산, 이온주입 |